四探針電阻率測試儀工作流程
發(fā)布時(shí)間： 2021-04-16 10:48:48 點(diǎn)擊： 2581
四探針電阻率測試儀工作流程
本文從的定義，工作原理，組成，
四探針電阻率測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測量。單晶硅物理測試方法國標(biāo)； A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
雙電測試法：
利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析.
測試步驟：
1.接通電源，打開電源開關(guān).
2.液晶顯示界面選擇“方阻”并設(shè)置，探針形狀，探針間距，選擇測試電壓檔位，輸入樣品厚度.
3.將被測樣品放入測試平臺(tái)上，旋動(dòng)探頭與樣品接觸.
4.儀器自動(dòng)顯示出，方阻，電阻率及電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
5.如配置有PC軟件系統(tǒng)時(shí)，所有上述步驟在軟件界面執(zhí)行即可.
優(yōu)點(diǎn)：
自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，提高精確度，
特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測試。
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